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财政部项目     The program from ministry of finance
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财政部项目

 

    示范中心在2005年和2008年两次获得了财政部关于中央与地方高校共建项目的支持。磁控溅射镀膜系统可制备各种金属膜 、半导体膜、介质膜以及各类光学膜,磁记录薄膜和各种硬质薄膜。也可用于样品的离子束刻蚀及离子束清洗。电感耦合化学气相沉积系统采用螺旋天线电感耦合激励等离子体,可制备各种半导体膜、介质膜以及各类光学膜;低压化学气相沉积系统可在高的深宽比的台阶和沟槽上覆盖填充均匀的膜,具有优良的台阶覆盖能力,可制备二氧化硅、氮化硅、多晶硅和氮氧化硅等薄膜材料,同时可制备纳米线材料。铁电性能测试仪可用于测量铁电材料的电滞回线,疲劳,老化,微位移,热释电等性能;原子力显微镜是(AFM)是观测材料表面形貌的重要工具,可以测量不同方法制备的薄膜表面情况,分析制备条件对薄膜结构的影响。
第一期获得了300万经费,建设物理技术基础实验室,包括光电综合设计实验分室和 材料基础实验分室。购置了磁控溅射镀膜系统、电感耦合化学气相沉积系统、光刻机、低压化学气相沉积系统、原子力显微镜、铁电、介电性能测试仪、频谱分析仪、光谱分析仪等大型仪器设备。2008年再次获得财政部专项资金,投资280万元建设光电材料与器件实验室,主要包括传感器实验分室和太阳能电池实验分室。目前该项目正在建设之中。

    上述仪器设备主要是为学生开展近现代物理实验,课程设计和毕业设计等相关内容,实现薄膜生长,电极制作等功能。支撑应用物理专业的相关课程,包括半导体材料物理,薄膜生长,材料物理,纳米技术基础与应用,等离子体电子工程学,固体物理等。

2005年财政部项目执行计划书

2008年财政部项目执行计划书

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